การออกแบบระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค
ไปยังการนำทาง
ไปยังการค้นหา
เนื้อหา
- 1 Introduction
- 2 Fabrication Process
- 3 Surface Micromachining
- 4 Bulk Micromachining
- 5 Process Integration
- 6 Mechanics of Materials
- 7 Microstructural Elements
- 8 Energy Methods
- 9 Electrostatic Actuators
- 10 Circuit Modeling of MEMS
- 11 Signal Conditioning Circuits
- 12 Electronic and Mechanical Noise
- 13 Capacitive Position Sensing
- 14 Wireless Communication Basic
- 15 Micromechanical Circuits
- 16 Fluid Dynamics
- 17 Microfluidics